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镀层专属——超快速元素深度分析质谱仪(PP-TOFMS)
人阅读 发布时间:2015-08-27 14:15
PP-TOFMS是一款用于镀层分析的超快速深度剖析设备,它的速度得益于高密度、低能量的溅射等离子体以及超快速全质谱覆盖的TOFMS检测器。
PP-TOFMS无需超高真空设备,样品基本无需预处理,操作简单且界面人性化,非常适合科学和工程应用。
PP-TOFMS能够检测任意的元素,而且可以快速提供主要元素的深度分布、掺杂物的分布、未知元素的鉴定以及纳米尺度内交界面质量等。除了H、C、N、O外,它对所有元素的灵敏度相当高,这是因为离子化过程与溅射过程发生在辉光放电腔的不同位置。
在微电子、太阳能光伏和光电子等领域的材料生产过程中,PP-TOFMS将为您最优化镀膜工艺,极大地节约您的宝贵时间。
点击观看视频,了解PP-TOFMS如何在几分钟内快速获取各类材料中任意元素的深度分布。
视频:www.horiba.com/scientific/products/plasma-profiling-tofms/instrument/video
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