5月18日，HORIBA Scientific举办了Optical School系列在线讲座（2）——“最新光谱技术及应用网络讲座”，涉及：荧光、拉曼、椭偏、辉光光谱，你想知道大家都在关心哪些问题吗？

 

课程1：荧光光谱

Q：请问荧光设备是不是没有显微功能？

A：可以提供显微耦合方案，将荧光光谱仪与显微镜耦合，直接实现显微微区光谱分析；此外，为满足荧光寿命显微成像测试需求，我们可直接提供整机系统-型号DeltaMyc；

详情请参考:www.horiba.com/us/en/scientific/products/fluorescence-spectroscopy/microscopy-mapping，如有问题可直接联系我们。

 

Q：国内有这样的耦合的设备吗？

A：我们有这样的用户，如有具体的需求还请与我们直接联系。

 

Q：Optical School有基本的技术入门讲解么？

A：是的。在整个培训期间，我们会针对各类光谱产品讲解技术原理、应用方向，欢迎感兴趣的老师和同学报名参加。此外，Optical school有走进校园的活动，如果达到一定人数，我们可以在您所在地举办。

详情请参考：www.horiba.com/cn/scientific/news-events/events/optical-school

 

Q：荧光光谱样品池正背面表面粗糙度对荧光强度有影响吗？液体样品。

A：因为荧光光谱仪采用激发-发射成90度的收集角度，所以液体测试采用的比色皿四面透光，没有粗糙面；如果您使用的是特殊器皿，我们可以进一步讨论。

 

Q：荧光可以做变温测量吗？

A：可以。针对液体和固体样品及变温需求，有不同的变温装置。

详情请参考：www.horiba.com/scientific/products/fluorescence-spectroscopy/accessories

 

课程2：拉曼光谱

Q：传统的拉曼分辨率不能到纳米级别波数？

A：纳米级分辨率指的是空间分辨率，传统的显微拉曼受限于光学衍射极限，一般在微米级别。

 

Q：显微拉曼分辨率不能达到纳米级别？

A：传统的显微拉曼受限于光学衍射极限，一般在微米级别。

 

Q：Nano-Raman的激光器也是可以配置好几个吗？与共聚焦拉曼的激光器配置是不是一样的？

A：Nano-Raman中的拉曼光谱仪部分也是正常的共焦拉曼系统，激光器配置是一样的。

 

Q：显微拉曼分辨率一般是用波数来衡量吧？

A：显微拉曼中光谱分辨率是用波数来衡量，而空间分辨率是用长度单位来衡量，一般是微米或纳米尺度。

 

Q：怎么实现IR反馈与拉曼信号不干扰？

A：AFM可以使用1300nm的IR反馈激光，从而很好地与拉曼测试时常用的633nm或785nm激光产生的拉曼信号区分开。

 

Q：做TERS实验需要准备多久？TERS的实验环境要求很高吗？

A：准备时间根据不同仪器的操作难易程度而定。拥有物镜扫描器以及各方向可视系统的设备来说，基本上只用十几分钟就能开始TERS测试或成像。

实验环境的要求取决于联用系统的稳定性，稳定性高的话只需要放在普通的实验室环境中。光路中所用反射镜越少，光路越稳定；AFM扫描器的调制频率越高，就越能避开生活中的噪声，从而无需真空或隔离设施。

 

Q：不用TERS 只能看到微米级别，是吗？如何制造一个真空环境应用TERS呢？

A：不用TERS时极限分辨率最大是200nm左右，用TERS一般会达到10nm。仪器稳定性高时不需要真空环境，大气环境就能实现。

 

Q：请问上海应用中心有TERS成像么？

A：目前Nano-Raman安装在北京应用中心，如果有需要可与我们联系。

 

Q：联用中，要是需要测试的不是样品表面（表面有200-300nm的材料），能进行测试吗？

A：这样的样品需要进一步讨论测试方案，SPM针尖无法穿透200-300nm的材料进行测试，所以可能要在样品制备上有合适的方案。欢迎您与我们的应用工程师联系。

 

Q：PPT讲的是拉曼光谱成像，PPT中的光谱曲线是指某一个点的光谱？

A：SiGe的那个结果曲线是做的线扫描，属于一维成像，每个点是样品上对应位置的光谱。

 

Q：氟化锂是不是没有拉曼型号？

A：氟化锂不是金属，有拉曼信号。

 

Q：两台独立的Raman和AFM仪器（不同厂家）是否可以进行联用？

A：是否可以联用需要知道对应的Raman型号和AFM型号，然后进行光路的耦合和改造。HORIBA的拉曼光谱仪可以与很多厂家的AFM进行联用，不过目前来说跟AIST-NT的AFM联用效果最好，做TERS是最方便的。

 

Q：有没有做拉曼+金刚石压腔的？

A：有。这是属于做高压拉曼的正常配置。欢迎您与我们联系，进一步讨论具体方案。

 

课程3：椭圆偏振光谱

Q：SIMS定量也需要标样吧？

A：需要。

 

Q：可以具体分析一下怎么得到厚度折射率吗？

A：计算过程主要使用椭偏方程和菲涅耳公式，也就是两个已知数PSI、Delta，求算三个未知数n,k,d。无法直接求解，需要用拟合的方式进行，软件根据用户输入的膜厚起始值开始计算理论PSI、Delta，并与测量值比较，直到二者差别达到最小，认为拟合完毕。

 

Q：采用UVISEL 椭圆偏振仪可以测量的膜厚范围有多大？

A：1A-40μm。

 

Q：测量IC多层膜厚度，椭偏技术和SIMS技术，哪个测试精度更高？

A：如果就无损测试的精度而言，椭偏精度更高，如果就有损更接近样品真实值的角度而言，SIMS精度更高，如果就多次检测的精度而言，椭偏精度更高。因为椭偏分析的是光学厚度，而SIMS是物理厚度，两者是不同的膜厚分析手段，在某些样品中，两者可以给出相近的结果。

 

Q：UVISEL光谱椭圆偏振仪的优点有哪些？光谱椭圆偏振仪和反射仪有什么区别？

A：HORIBA的光谱椭偏使用PEM光弹调制，无机械旋转，无光斑游走，精度及灵敏度更高。反射仪只测试反射强度比，受环境影响（比如光源）极大，可测试100nm以上的薄膜，精度在10nm左右，椭偏光谱仪不仅测试偏振光的反射强度比，还测试偏振光的相位信息，可给出精度更高的结果，精度在埃级。

 

Q：透明的非晶无机样品，样品的直径不小于多少，才可以测试折射率？

A：一般建议5-10mm，如果样品不均匀，可能需要更大区域，以便多点检测，微光斑功能可以实现最小35um光斑检测。

 

Q：光谱椭偏组分分析检出限可达到多少？定量不需要标样？

A：需要标样，组分分析是模型分析的结果，也就是模型中某参数与组分线形相关的情况下得到的结果，比如做SiOx的分析，一般可检测x=0.01的改变，x值的检出限与样品有关，只要是x改变带来光学可分辨的折射率改变，就可以通过模型分析出来。

 

课程4：辉光放电光谱（GD-OES）

Q：GD-OES有测量深度的范围吗？

A：可测试几纳米到150微米的镀层样品，有些材料还可测试到200微米。

 

Q：光学玻璃表面的镀层是否可以用GD-OES分析？可以分析到什么程度？

A：光学玻璃的镀层可以使用GD-OES分析，可以直观地看到镀层质量、镀层中元素的分布、是否有污染等。

 

Q：GD-OES具体分析的是锂电池什么信息？

A：GD-OES分析的是锂电池的正负电极，查看电极中各个元素的随深度的分布，用以研究电池的循环性能，监测电极在充放电中的副反应等。

 

Q：溅射的局域直径有多少？

A：溅射区域的直径常规为4mm，此外还有1mm、2mm、7mm和8mm供选择。

 

Q：古代壁画表面涂层文物上有哪些应用实例？

A：纸张样品、陶瓷样品是可以进行分析，但辉光放电光谱仪是有损分析技术。

 

Q：包装材料塑料（有多层，薄的约数十纳米）是否可以分析？

A：包装材料样品可以进行分析。

 

Q：可以用GD-OES制样为SEM提供样品吗？

A：GD-OES可以为SEM制样，快速剥蚀包埋层上方的镀层且不会破坏包埋层的花纹结构，可参考书籍：New Horizons of Applied Scanning Electron Microscopy，中间有许多结构是使用GD-OES制备的样品。
 

讲座预告

· 6月12日：光谱技术在生物领域中的应用

· 6月26日：光谱基础知识

· 9月18日：光谱技术在材料领域中的应用

· 10月23日：光谱技术在半导体领域中的应用

· 11月3日：光谱仪使用技巧
报名：www.horiba.com/cn/scientific/news-events/events/2015-webinar

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